滑阀式真空泵(简称滑阀泵)工作原理是利用滑阀机构来改变吸气腔容积。与旋片泵一样,是一种变容式气体传输泵,其使用范围和运行条件也与旋片泵基本相同。
滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式,抽速大于等于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。
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H-150 滑阀式真空泵
本泵具有抽气速率稳定、工作压力范围宽的优点,其几何抽气速率为152L/s,极限分压力低于1Pa,极限全压力小于6.5Pa,较大工作压力为大气压(直排大气)。本泵可单独使用,亦可与更高真空泵组成机组配合使用,广泛应用于真空镀膜、冶炼、干燥、浸渍、脱气造型等真空作业场所。
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